1. a. surat permohonan yang ditandatangani di atas meterai cukup oleh pengurus Wajib Pajak;
2. b. surat kuasa bermeterai cukup apabila pengurusan permohonan tidak dilakukan secara langsung oleh pengurus Wajib Pajak.
3. c. rekaman Izin Prinsip/Izin Investasi dan perubahannya atau Izin Prinsip/Izin Investasi Perluasan serta perubahannya yang diterbitkan oleh BKPM atau izin penanaman modal yang diterbitkan investasi lain yang berwenang berdasarkan peraturan perundangundangan;
4. d. rekaman Nomor Pokok Wajib Pajak (NPWP) Badan;
5. e. rekaman akta pendirian badan usaha dan perubahannya dilengkapi dengan pengesahan/persetujuan dari Menteri Hukum dan HAM atau Pengadilan Negeri;
6. f. rincian aktiva tetap yang dipisahkan antara aktiva tetap yang dapat memperoleh fasilitas PPh dan yang tidak dapat memperoleh fasilitas PPh;
7. g. penjelasan sumber pembiayaan investasi perusahaan disertai dokumen-dokumen pendukungnya;
8. h. penjelasan tentang pemenuhan persyaratan kualitatif yang diatur dalam Peraturan Menteri Teknis mengenai peraturan pelaksanaan Peraturan Pemerintah Nomor 18 Tahun 2015 tentang Fasilitas Pajak Penghasilan Untuk Penanaman Modal di Bidang-bidang Usaha Tertentu dan/atau di Daerah-daerah Tertentu

1. Kepala Badan Koordinasi Penanaman Modal (BKPM) mengirimkan usulan Pemberian Fasilitas Pemberian Fasilitas Pajak Penghasilan untuk Penanaman Modal di Bidang-Bidang Usaha Tertentu dan/atau di Daerah-Daerah Tertentu kepada Menteri Keuangan melalui Direktur Jenderal Pajak.
2. Direktur PP II menerima, meneliti dan memberikan penugasan kepada Kepala Subdirektorat Peraturan PPh Badan untuk diproses.
3. Kepala Subdirektorat Peraturan PPh Badan menerima, meneliti dan mendisposisikan permohonan tersebut kepada Kepala Seksi Peraturan PPh Badan untuk diproses.
4. Kepala Seksi Peraturan PPh Badan menerima, mempelajari, dan mendisposisikan permohonan tersebut kepada Pelaksana Seksi Peraturan PPh Badan.
5. Pelaksana Seksi Peraturan PPh Badan menerima, meneliti dan memproses surat permohonan tersebut. Apabila memenuhi persyaratan, dibuatkan konsep Risalah dan Persetujuan/Pencabutan Pemberian Fasilitas Pajak Penghasilan untuk Penanaman Modal di Bidang-Bidang Usaha Tertentu dan/atau di Daerah-Daerah Tertentu bila tidak memenuhi persyaratan serta meneruskan kepada Kepala Seksi Peraturan PPh Badan.
6. Kepala Seksi Peraturan PPh Badan menerima, meneliti dan memaraf konsep Persetujuan/Pencabutan atau Penolakan Pemberian Fasilitas Pajak Penghasilan untuk Penanaman Modal di Bidang-Bidang Usaha Tertentu dan/atau di DaerahDaerah Tertentu dan meneruskan kepada Kepala Subdirektorat Peraturan PPh Badan.
7. Kepala Subdirektorat Peraturan PPh Badan menelaah, memaraf dan meneruskan konsep Persetujuan/Pencabutan atau Penolakan Pemberian Fasilitas Pajak Penghasilan untuk Penanaman Modal di Bidang-Bidang Usaha Tertentu dan/atau di Daerah-Daerah Tertentu kepada Direktur PP II.
8. Direktur PP II menerima, menelaah, dan memaraf konsep Persetujuan/Pencabutan atau Penolakan Pemberian Fasilitas Pajak Penghasilan untuk Penanaman Modal di Bidang-Bidang Usaha Tertentu dan/atau di Daerah-Daerah Tertentu dan meneruskan kepada Direktur Jenderal Pajak.
9. Direktur Jenderal Pajak menerima, meneliti serta menandatangani Persetujuan/Pencabutan atau Penolakan Pemberian Fasilitas Pajak Penghasilan untuk Penanaman Modal di Bidang-Bidang Usaha Tertentu dan/atau di DaerahDaerah Tertentu.
10. Pelaksana Seksi Peraturan PPh Badan menatausahakan dan mengirimkan Persetujuan/Pencabutan atau Penolakan Pemberian Fasilitas Pajak Penghasilan untuk Penanaman Modal di Bidang-Bidang Usaha Tertentu dan/atau di DaerahDaerah Tertentu kepada Wajib Pajak (SOP Penyampaian Dokumen di Direktorat)
11. Proses selesai.

Paling lama 10 (sepuluh) hari kerja terhitung sejak usulan dari Kepala Badan Koordinasi Penanaman Modal

Surat Keputusan Menteri Keuangan yang didelegasikan kepada Direktur Jenderal Pajak untuk memberi Persetujuan/pencabutan atau Penolakan Pemberian Fasilitas Pajak Penghasilan untuk penanaman modal di bidang-bidang usaha tertentu dan/atau di daerah-daerah tertentu